表面形貌的全息式非接触光学测量方法王晓飞 罗鸿逵 郭鸿禧(北方交通大学电子信息工程学院，机械与电气工程学院，北京 )摘 要 讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法.此方法采用全息光学元件HOE替代普通光学元件，作为离焦检测元件，提高了测量精度和范围.关键词 表面形貌 全息光学元件(HOE) 非接触光学测量分类号 O434.19Noncontact Holographic Optical Measuring Methodof the Surface ProfileWang Xiaofei Luo Hongkui Guo Hongxi(College of Electronics and Information Engineering, College of Mechanical and Electrical Engineering, Northern Jiaotong University,Beijing )Abstract A new noncontact holographic optical
