激光干涉测试技术.doc

光电检测技术 -第三次作业 班级：机测控11 姓名：李谋 学号： 激光干涉测试技术 技术原理，示意图，影响因素及提高方法 特点： 具有更高的测试灵敏度和准确度； 绝大部分的干涉测试都是非接触式的，不会对被测件带来表面损伤和附加误差； 较大的量程范围； 抗干扰能力强； 操作方便； 在精密测量、精密加工和实时测控的诸多领域获得广泛应用。 干涉条件 通常能够产生干涉的两列光波必须满足三个基本相干条件： 频率相同 振动方向相同 恒定的位相差 在实际应用中，有时需要有意识地破坏上述条件。比如在外差干涉测量技术中，在两束相干光波中引入一个小的频率差，引起干涉场中的干涉条纹不断扫描，经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号，由