薄膜物理与技术要点总结.doc

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第一章最可几速率:根据麦克斯韦速率分布规律,可以从理论上推得分子速率在处有极大值,称为最可几速率,Vm速度分布平均速度:,分子运动平均距离均方根速度:平均动能真空的划分:粗真空、低真空、高真空、超高真空。真空计:利用低压强气体的热传导和压强有关; (热偶真空计)利用气体分子电离;(电离真空计)真空泵:机械泵、扩散泵、分子泵、罗茨泵机械泵:利用机械力压缩和排除气体扩散泵:利用被抽气体向蒸气流扩散的想象来实现排气作用分子泵:前级泵利用动量传输把排气口的气体分子带走获得真空。平均自由程:每个分子在连续两次碰撞之间的路程称为自由程;其统计平均值成为平均自由程。常用压强单位的换算 1Torr=133.322 Pa 1 Pa=7.510-3 Torr 1 mba=100Pa 1atm=1.013*Pa真空区域的划分、真空计、各种真空泵粗真空 1105 to 1102 Pa 低真空 1102 to 110-1 Pa 高真空 110-1 to 110-6 Pa 超高真空 110-6 Pa旋

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