有关纳米二氧化钛粒子与二氧化硅离子在玻璃表面的沉积方法.docx

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资源描述

有关纳米二氧化钛粒子与二氧化硅离子在玻璃表面的沉积方法1. Si02溶胶的制备用正硅酸乙酯(TEOS)作为SiO2的先驱体,以TEOS、无水乙醇和去离子水为原科,用酸做催化剂,pH值在5左右。取定量乙醇分为两份,一份与TEOS混合,另一份与催化剂及去离子水混合,搅拌过程中将后者缓慢滴加到前者,然后室温下再持续搅拌反应2h密封室温陈化。制备了不同TEOS/无水乙醇比例、不同TEOS去离子水比例的溶胶。采用辊涂的方法在玻璃上镀膜,然后在一定的温度下快速热处理4分钟、再在高压空气下冷却到室温。2.TiO2溶胶的制备1磁控溅射法磁控溅射是以Ti或Ti02为靶,在02或02At气氛下,在电离离子的轰击下将TiO2沉积到基片上的一种方法。它主要包括射频磁控溅射法和直流磁控溅射法。磁控溅射法是目前国内研究最多、最成熟的一种Ti02薄膜制备方法。采用磁控溅射法制备的Ti02薄膜具有致密均匀、附着力大,并且基片因为在高能量的粒子的轰击下温度不断升高而不用加热等优点而被广泛采用。利用磁控溅射法制备Ti02薄膜虽然易于掺杂,但是很难控制杂质的浓度。2溶胶/凝胶法溶胶/凝胶

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