带有高精度空气静压主轴的轴向定位设备Tadahiko Shinshi, Toshiki Hayashi, Yusuke Inami, Hitoshi Hashizume, Kaiji Sato和 Akira Shimokohbe精密与智能实验室，日本东京工业大学，4259长津田绿区横滨，226-8503，日本一简介为了节约空间 能源 和材料，开发出了很多类型的微型机床用于加工微小高精度的机械零件 1-3.微型机床的下一个目标将是多轴和高精度加工.传统的多轴机床是由几个单一自由度限制叠加而成的过定位机制来限制设备自由度的运动4。但是，过定位机制不适合对于微型和精密运动的控制，是因为被许多单自由度定位机制和非执行机构配置与位移反馈传感器占用的空间累计所产生的效果。 在普通的立式铣床中，双自由度运动平台和主轴的垂直方向移动，通常是先组装几个单一自由度运动平台，铅制的螺栓，单自由度线性导轨，伺服电机和旋转编码器。自由度机制叠加的数量越大，执行机构所需的自由度运动机制越大.此外，定位仪表或主轴和位移传感器的位置搭配不对.这种不搭配可能会导致运动和加工误差.
