E型电子束蒸发器.doc

E型电子束蒸发器（电子枪）使用说明书 成都南仪电子电气有限责任公司目 录一、 概述二、 主要技术参数三、 结构说明四、 使用方法及注意事项五、 常见故障及消除六、 备件E型电子束蒸发源一.概述 本蒸发源系坩埚由电机直接驱动、电子束偏转角为270、用于蒸镀各种金属和非金属材料的磁偏转式E型电子束蒸发装置。二、主要技术参数1、电子束偏转角 2702、阳极电压 6KV、8KV二档3、阴极加热电源 AC 3V+3V，60A可调4、束流 间冷坩埚0500mA 直冷坩埚01A5、坩埚容量（标准型）4孔间冷 417 mL4孔直冷 422 mL环形直冷 85 mL6、磁场电源 X偏转电流 2A可调扫描频率 10