第四章 功率集成电路工艺和器件模拟 2022/10/14 1主要内容n TCAD 简介n TCAD 仿真软件简介 n PIC 工艺仿真 n 器件仿真n 器件模型2022/10/14 2TCAD 概念n 集成电路工艺和器件的计算机模拟（Technology CAD， 简称TCAD ），是利用组件与制程方面的计算机辅助设 计与仿真软件进行集成电路工艺和器件的“虚拟制造”。n 显然它的运用可以大大缩减集成电路的研发周期和费 用，从而大大提高集成电路的上市竞争力，已成为半导 体工艺研发过程中不可或缺的工具。2022/10/14 3PIC 中的TCADn 对于功率集成电路而言，由于涉及的器件种类繁多， 而且器件参数相差很大，这就决定不能采用标准的 CMOS或Bipolar 工艺制程进行制造，而研发一条全 新的特殊工艺工程量是浩大的，因而这就更离不开 TCAD 软件来协助进行设计。2022/10/14 4TCAD 简介 TCAD 作为EDA 软件的一个分支，主要分为两部分：n 对制造工艺进行模拟，称为工艺TCAD ；n 对器件特性进行模拟，称为器件TCAD 。2022/10/14 5TCAD 工艺
