MEMS传感器技术内容提要n MEMS 的基本介绍n MEMS 的加工方法n MEMS 的基本分类n 几种常见的MEMS 传感器n MEMS 在农业上的应用n 相关参考文献MEMS 的基本介绍MEMS 的基本介绍n MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems) 是微机电系统的缩写，它是以机械学、电子学和计算机软件技术融合而成的一门新兴交叉学科。MEMS 的基本介绍n MEMS( 微机电系统) ，同时也是一门技术，是在一个硅基板上，微米范围内集成了微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统的高新技术。MEMS 的基本介绍n MEMS 又是一种产业，采用MEMS 技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、农业、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS 的加工方法n MEMS ，微电子机械系统采用传统的机械加工艺、软x 射线深层光刻电铸成型工艺和半导体硅微机加工工艺等来制作微尺度的机械、电子、流体、光学、生物
