集成电路技术讲座第十三讲集成电路可靠性Reliability集成电路可靠性（一）可靠性概念和表征方法（二）失效规律浴盆曲线（三）硅片级可靠性设计和测试（四）老化筛选和可靠性试验（五）失效模式和失效分析（一）可靠性概念和表征方法可靠性概念和表征方法 集成电路的可靠性是指集成电路在预期寿命内，在规定的条件下正常工作的概率即集成电路能正常使用多长时间 Unreliability F(t)=r/n n 总样品数 r失效数 Reliability R(t)=(n-r)/n Failure Density f(t)=f(t,t+t)=r/n Failure Rate (t)=(t,t+t)=r/(n-r) 可靠性概念和表征方法平均失效率(Failure rate) （用于常数失效区） Fr=Nf/NdtNf 失效数 Ndt器件数和试验小时数乘积 FIT(Failure In Time)=Fr*109 1小时内每109个(10亿)器件中有一个器件失效时，称为1FIT (ppb),或1000小时内每106个(100万)器件中有一个器件失效时，称为1FIT 平均失效时间 MTTF(Mean Time t
