原子力显微镜Atomic force microscopy， AFM王 景 风目 录 1. 概述 2. AFM的工作原理及工作模式 3. 应用及实例解释1. 概 述 显微技术是人们认识材料微观结构的重要途径，其发展历程是从光学显微镜电子显微镜扫描探针技术。这也使得人们对于微观世界的认识越来越深入，从微米级、亚微米级发展到纳米级乃至原子级分辨率。 原子力显微镜（atomic force microscopy，AFM）就是近代发展起来的扫描探针显微镜(scanning probe microscopy，SPM)家族中应用最为广泛的一员。 1.1 扫描探针显微镜扫描探针显微镜 (SPM)： 使用一个尖锐的探针在样品表面扫描，在扫描过程中记录探针与样品的相互作用，从而得到样品的表面信息。成像原理 适用样品 分辨率扫描隧道显微镜Scanning tunneling microscope, STM隧道电流导体或半导体材料横向分辨率0.1nm;垂直方向分辨率0.01nm原子力显微镜Atomic force microscopy ，AFM针尖与试样之间的相互作用力导体、半导体、绝缘材料横向分辨率纳米级
