先进制造技术2.3 微纳加工技术主讲人0802110324 谷风康0802110325 龙佳 2012 年12 月27 日微镊子微镜阵列微马达微继电器 微铰链 2.3.1 微纳加工技术概述 前面我们有讲到精密和超精密加工，主要指表面的加工，是对平面、规则曲面与自由曲面的光整加工技术。而这节我们要讲到的微纳加工主要是指在很小或很薄的工件上进行小孔、微孔、微槽、微复杂表面的加工。例如对半导体表面进行磨削、研磨和抛光属超精密加工，而在其上刻制超大规模集成电路，则属于微纳加工技术。 微纳加工技术往往牵涉材料的原子级尺度。 纳米技术是指有关纳米级（0.1-100）的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。 纳米技术是科技发展的一个新兴领域，它不仅仅是关于如何将加工和测量精度从微米级提高到纳米级的问题，也是关于人类对自然的认识和改造如何从宏观领域进入到微观领域。2.3.2微纳加工技术分类 微纳加工技术是由微电子技术、传统机械加工、非传统加工技术或特种加工技术衍生而来的，按其衍生源的不同，可将微纳加工分为：由硅平面技术衍生的微纳加工微蚀刻加工和由特种加工技术衍生的微纳特种加工。由特种加工技术衍生的
