四川汉能光伏有限公司气体系统安全培训二一一年八月成 都二、二、变更作业变更作业MOCMOC介绍介绍一、气体系统安全介绍 一、气体系统安全介绍 目 录三、承包商管理 三、承包商管理 一、气体系统安全介绍20%GeH4/H2 工艺流程GeH4 JVB GeH4 VDB GeH4 VMB PECVD尾气处理装置排放真空泵Y-Cylinder H2 ：易燃易爆性 CH4 ：易燃性 SiH4 ：自燃性 TMB ：易燃气体(甲基硼酸酯) PH3 ：剧毒气体 GeH4 ：剧毒气体 He ：惰性气体 N2 ：惰性气体 Ar : 惰性气体必须熟悉各种危险气体MSDS （化学品安全技术说明书）！公司使用的气体种类MSDS 包含16项内容:化学品及企业标识 : 化学品名称, 企业名称,企业应急电话等危险性概述 : 危险性类别(8大类)，侵入途径，健康危害等急救措施 : 皮肤接触，眼睛接触，吸 入等消防措施 : 危险特性，有害燃烧产物，灭火方法及灭火剂，灭火注意事项等 泄露应急处理 : 应急处理和消除方法等操作处置与储存: 操作注意事项，储存注意事项等接触控制/个体防护: 最高容许浓度TLV，呼吸系统防护,眼
