曝光原理与曝光机课件.ppt

上传人:晟*** 文档编号:14428800 上传时间:2022-10-19 格式:PPT 页数:51 大小:3.39MB
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曝光原理与曝光机課程綱要 多層板製程 曝光製程 光阻曝光原理 曝光光源系統 曝光量測11/50多層板製程11/50多層板Multilayer PCB 結構通孔Through Hole孔徑孔環Annular Ring絕緣介質層Dielectric線路線距線寬內層2內層1傳統多層板 增層法多層板11/50結構術語及尺寸單位 導通孔Via Hole 目的: 連接各層電路 孔徑 Ex. 機鑽通孔 0.35 mm Ex. 雷射盲孔 6 mil 孔環 Annular Ring Ex. 單邊 + 5 mil 縱橫比 Aspect Ratio 板厚/孔徑 鑽孔, 電鍍能力 孔間距 100 mil = 2.54 mm 50 mil = 1.27 mm 線路 Power/Ground層 信號層 Signal layer 線路 Conductor 焊墊 Pad 線寬/線距 (L/S) Line Width / Line Space 6/6 = 150/150 m 5/5 = 125/125 m 4/4 = 100/100 m 孔間(100 mil)過几條導線 8/8 過 2 條 6/6 過 3 條 5/5

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