电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统课件.ppt

上传人:晟*** 文档编号:14431186 上传时间:2022-10-19 格式:PPT 页数:29 大小:329KB
下载 相关 举报
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统课件.ppt_第1页
第1页 / 共29页
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统课件.ppt_第2页
第2页 / 共29页
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统课件.ppt_第3页
第3页 / 共29页
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统课件.ppt_第4页
第4页 / 共29页
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统课件.ppt_第5页
第5页 / 共29页
点击查看更多>>
资源描述

电子工厂- 晶圆厂-TFT - 厂- 面板厂- 厂务系统概述0.电子厂名言 唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定所以接下来介绍的在现场都不是绝对的1.厂务系统功能1.1水系统在制程中的功能PCW制程冷却水制程机台冷却UPW/DIW超纯水补水/清洗/稀释Chill Water冰水冷却用冷源/空调用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自来水原水/一般用水1.2气体系统在制程中的功能CDA压缩干燥空气搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹GN2一般氮气Purge/CDA Backup/洁净冲吹PN2纯化氮气Purge/空间填充/超洁净冲吹其他B-GAS大宗气体制程需求/Purge/空间填充/超洁净冲吹S-GAS特殊气体制程Chamber填充需求/干蚀刻制程需求1.3化学系统在制程中的功能Chemical化学药品清洁清洗/湿式蚀刻制程需求1.4真空系统在制程中的功能PV制程真空基板吸引般移HV清洁真空尘屑吸引清洁/真空吸笔Pump Line制程高真空Chamber制程转换之高真空建立Exhaust排气系统Chamber制程转换之废气排除Drain排水系统机台制程使用之废DI/Che

展开阅读全文
相关资源
相关搜索

当前位置:首页 > 教育教学资料库 > 课件讲义

Copyright © 2018-2021 Wenke99.com All rights reserved

工信部备案号浙ICP备20026746号-2  

公安局备案号:浙公网安备33038302330469号

本站为C2C交文档易平台,即用户上传的文档直接卖给下载用户,本站只是网络服务中间平台,所有原创文档下载所得归上传人所有,若您发现上传作品侵犯了您的权利,请立刻联系网站客服并提供证据,平台将在3个工作日内予以改正。