现代半导体器件物理与工艺(全套ppt课件)-上.ppt

上传人:晟*** 文档编号:14431766 上传时间:2022-10-19 格式:PPT 页数:204 大小:12.17MB
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现代半导体器件物理与工艺概概 论论Physics and Technology of Modern Semiconductor Devices课程概论q 课程名:现代半导体器件物理与工艺q 学分:4 q 时间:秋季学期1-16 周q 先修课程:l 固体物理学l 半导体物理 l 热力学与统计物理学l 量子力学l 模拟电子技术基础l 数字电子技术基础学习目标掌握半导体物理基本理论q 掌握基本器件物理知识q 掌握IC制造工艺知识q Pspice建模q 了解什么是微电子学和研究什么方面q 了解微电子学的过去、现状和未来q 初步了解集成电路设计、集成电路CAD方法等基本概念

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