第六章 真材料、密合、封入授課教師：黃 俊 傑 Outlinel 真空用材料l 真空封合技術l 真空閥門l 真空引入真空用材料真空材料選擇材料 l 一個真空系統所使用的材料包括金屬，玻璃，陶瓷以及一些特殊橡膠。l 要求的特點有 足夠的機械性質阻擋內外壓力差 足夠的緻密性抵擋氣體的滲透。 低的蒸汽壓及溢氣量 好的製造特質以便容易成型並同時能夠抗惡劣工作環境。真空材料選擇材料 材料選擇之要素 機械強度大小表示平板中間可允許的變形量LC=1.11D(D/h)1/2 為圓筒塴陷的臨界長度，超過易塴陷材料逸氣之特性氣體由真空系統內物件表面逸出統稱為逸氣，與漏氣及油蒸氣回流形成真空系統主要之氣體負荷 蒸發是造成物質蒸氣壓的主要原因，材料之蒸氣壓大小隨溫度升高而增大，並隨材料之不同而異。 (1) 蒸發材料逸氣之特性(2)熱吸退 熱吸退是真空系統中真空容器器壁內面或其內物件表面所吸附之氣體或蒸氣因而熱刺激而放出熱吸退之氣體主要來源：a) 器壁暴露大氣時所吸附之氣體或蒸氣，在低壓力時慢慢放出b) 器壁內之氣體經由擴散作用移至內表面而後逸出c) 外界之氣體經由滲透作用抵達器壁內表面而放出材料逸氣之特性(3
