扫描电子显微镜ScanningElectronMicroscope分析测试中心扫描电子显微镜扫描电子显微镜是利用聚焦电子束在试样上扫描时，激发的一些物理信号来调制一个同步扫描的显像管在相应位置的亮度而成像的一种显微镜。SEM是近几十年来发展起来的一种大型精密电子光学仪器，它是观察样品微区形貌和结构的有力工具，在冶金、地质、矿物、高分子、半导体、医学、生物学等领域有着广泛的应用。目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。 1.扫描电子显微分析的基本原理 1932年德国发明了第一台电子显微镜，并于1986年获得诺贝尔物理奖。电子显微镜主要特征：l 以电子束代替光镜中的光束作为入射光电子束的波长由加速电压所决定例：V=100kV时，=0.0039nm，此时分辩率为0.002nml 以电磁透镜代替光镜中的玻璃透镜电磁透镜的本质是一个透过直流电的线圈所产生的磁场，电子束受到磁场力的作用而改变其运动方向和速度，如同光束通过玻璃透镜，最终会聚焦。1.1电子束与固体样品作用时产生的信号扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦的非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各
