第四章 薄膜的形成及生长 4.1 薄膜生长过程概述4.2 薄膜的成核理论4.3 连续薄膜的形成4.4 薄膜生长过程与薄膜结构4.5 非晶薄膜4.1 薄膜生长过程概述薄膜生长过程直接影响薄膜的结构以及它的最终性能。薄膜生长过程的两个阶段：新相的形核，薄膜生长阶段。形核阶段：在薄膜形成的最初阶段，一些气态的原子或分子开始凝聚到衬底的表面上。图4.1薄膜的结构和性能差异与薄膜形成的许多因素密切相关。因此，在讨论薄膜结构和性能之前，先研究薄膜的形成问题。薄膜的形成问题实质是气固转化，晶体形成的过程，大致分成下面几个阶段： 分子或原子撞击到固体表面； 它们被固体表面吸附或直接反射到空间； 被吸附的离子在固体表面发生迁移或扩散并移动到固体表面上合适的格点并进入晶格。薄膜形成过程的三个阶段 凝结过程（薄膜形成的第一个阶段） 核形成与生长过程 岛形成与结合生长 小原子团形成是凝结的开始，小原子团生长形成晶核，晶核继续生长形成不连续的膜，薄膜厚度达到一定值时，就形成连续膜。凝结过程凝结过程就是从蒸发源中蒸发出的气体原子，离子或分子入射到固体表面之后，从气相到吸附相，再到凝结相的一个相转化过程。一. 吸附
