薄膜材料成分分析方法薄膜材料成分分析方法 到目前为止，对薄膜结构和成分分析的研究方法已达一百多种。但它们具有共同的特征：利用一种探测束如电子束、 离子束、光子束、中性粒子束等，从样品中发射或散射粒子波，他们可以是电子、离子、中性粒子、光子或声波，检测这些粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特性，或波的频率、方向、强度、偏振等情况，来分析材料化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。 表面分析方法的特征注：输入箭头表示探测粒子或手段，输出箭头表示发射粒子或波薄膜成分分析方法介绍 按探测“粒子” 分类，表1列出一些薄膜成分分析方法。探测粒子 发射粒子 名称 英文简称基本过程 测量 主要用途 信息深度e e 俄歇电子谱AES 俄歇退激发电子产额对能量的一次微商谱表面成分 单层或几层原子层e e 扫描俄歇微探针SAM 俄歇退激发 表面微区的俄歇电子谱 表面成分分布单层或几层原子层e e 电离损失谱ILS 电子产额对能量的一次微商谱成分e 能量弥散X射线谱EDXS 成分e 软X射线出现电势谱SXAPS 辐射退激发软X射线产额对电子能量的一次微商谱表面成分 几层原子层e e 消隐电势谱D
