1、铸锭工艺助理工程师考试题1铸锭工艺考试试题及答案模板一、填空题1.硅是一种化学元素，化学符号是（Si） ，原子序数是（ 14） ，属于元素周期表上 IVA 族的类金属元素。2.多晶硅按纯度可分为( 太阳能) 级和(电子)级。3.单晶硅就是晶向和结构一致的硅。多晶硅通常是由(无固定晶向)和( 结构)的硅组成。 4.单晶硅棒生产最常用的工艺就是(直拉法) ，简称 CZ。5.太阳能级硅的固态和液态的密度分别(2.33)g/cm3、(2.53)g/cm3。6.晶体硅在底部形核时，核心数目较(多) ，晶粒尺寸较( 小)。 7.石英坩埚的化学成份是( 二氧化硅),化学式是(SiO2)。8.测量炉腔压力的两
2、个压力计量程各为(11000 mbar), (01 mbar)。9.破碎的块状多晶硅具有无规则的形状和随机尺寸分布，其线性尺寸最小为(3)mm ，最大为(200)mm。10.块状、棒状多晶硅断面结构应( 致密)。11.156*156 型锭开方后产生(25)块硅块，(20)块边料。12.公司主要原料是硅、主要参杂剂为( 硼)。13.硅的定向凝固时硼的分凝系数是(0.8),磷的分凝系数是(0.35),碳的分凝系数是(0.07)。14.硅晶体的晶胞是(金刚石)结构，含有(8)个原子，密排面是(111)面。15.从能量转换角度来讲，硅熔化过程是( 吸热)，长晶是(放热)。16.热传导方式有哪几种(热辐
3、射)、( 热对流)、(热传导)，多晶铸锭炉的热传导方式以(热辐射)为主。17.DSS 炉在气体模式框中显示(outlet)时，此时(inlet) 流量固定，(outlet)自动调节保持设铸锭工艺助理工程师考试题2定压力。18.头尾红区不良，造成头部红区不良主要为( 金属)杂质；造成尾部红区不良主要为（氧）杂质。19.位错的类型包括(刃型位错)，( 螺型位错)，(混合位错)。20.坩埚涂层的主要成分是( 氮化硅)，化学式是(Si3N4)。21现单晶中氧施主使 P 型单晶电阻率(减小)、退火后其电阻率会(增加)。22硅材料中杂质一般有(间隙态) 、(替位态) 、(复合体)、( 沉淀)四种存在形态。
4、23气体模式下，最大压力值(900mbar)；真空模式下，最大压力值(5mbar)。24硅锭号定义是：(7)位。25目前发现的硅有 (三) 种同位素。26DSS 冷供应却水在(24)度左右，当到达(35) 度时出现报警，如果持续上升达到(45)度时，系统默认无水供应。27DSS 炉运行出现拉弧时，电压会( 不变)、电流会(增加) 、输出功率会(增加)。28国标中对原生硅料划分了(3)个级别。29刷边液的主要成分为(硅粉) ；刷底液的主要成分为(硅粉 )和（氮化硅)。30当前使用的氮化硅主要为() 晶相。31M2 硅锭生产判断熔化主要为(TC2)耦丝。32多晶铸锭过程中氧杂质主要来源(坩埚) 。
5、33坩埚喷涂所用材料化学式为(Si3N4)。34回收车间在回收的为(氮化硅) 和（硅粉） 。35. 回收氮化硅主要分为(干粉) 氮化硅和（湿粉）氮化硅。二、单选铸锭工艺助理工程师考试题336以下( C )为硅片事业部生产的终端产品. . . . 37Ar 流量误差最大报警值是（A）A10% B.15% C.12% D.20% 38加热跳转到熔化的条件是(B )ATC1=1170 B.TC1=1175 C.TC2=1170 D.TC2=117539坩埚喷涂使用的是（A）A.氮化硅悬浮液 B. 液态氮化硅 C.SiC 溶液 D.液态 SiC40 硅料国标中 1 级料对氧含量的要求为(B) atom
6、s/cm3. 1.01016 . 1.01017 . 1.51016 . 1.5101741 硅料国标中 1 级料对碳含量的要求为(A) atoms/cm3. 2.51016 . 2.51017 . 4.01016 . 4.0101742 公司硅料标准 4 级料可使用于(A).仅多晶生产 . 仅单晶生产 .单多晶皆可 . 单多晶都不可43边料切下的 T1 料叫（C）A 边 T1 料 B 边尾料 C 边头料 D 边料44判定 M0 和 M2 硅块的主要指标为（C ）A 少子寿命 B 电阻率值 C 位错比例 D 硅锭合格率45硅块切除头料的厚度是（C）A 25MM B 15MM C 5MM D 5
7、CM46PN 结具有一个很重要的性质 ( B )A.不导电 .单向导电 C.双向导电 D.单位导电铸锭工艺助理工程师考试题447. V1 阀在压力为多少 mbar 时打开( C )A100 B.150 C.200 D.25048. 哪个热电偶控制炉运行 ( A )ATC1 B.TCOT C.TC2 D.PYRO49. 有红边不良率的硅块主要影响硅片的（ C）A 电性能 B 碎片率 C 外观 D 光衰减50. 公司生产的多晶片厚度为（ B）A 300-350 微米 B 180-200 微米 C 160-180 微米 D 220-250 微米51. 在预抽真空前，泵应预热（ A）分钟。A10 B2
8、0 C30 D 4052. 多晶硅和单晶硅的区别（ B ）A 多晶花纹状，单晶白色 B 多晶花纹状，单晶没有 C 多晶彩色，单晶白色 D 多晶黑色，单晶白色53. 检查真空泵油位高是否符合标准 ,实际的油位应在( A )。A 1/32/3 D 1/3h3/454. 氮化硅是(A)A 高温材料 B 防震材料 C 光敏材料 D 良导体55. 普通原料硅的颜色为（A）A 钢灰色 B 白色 C 黑色 D 淡黄色三、多选题56硅的应用领域广泛， （A，B ，C，D ）等领域都有硅材料的应用A. 陶瓷工艺 B. 现代光纤通信 C. 宇航 D. 电子铸锭工艺助理工程师考试题557我们公司的成品片有 （A B
9、 ）A. 多晶片 B. 单晶片 C. 电池片 D.镀膜片 E. 刻字片58坩埚译成英文是指 ( D )A.KILN B.Resistivity C.lifetime D.crucible59以下属于硅料国标中颗粒料的标准范围为（A，B ）A. 1mm B. 2mm C. 4mm D. 8mm60 以下硅料国标（A，B，C）级可使用于单晶生产A. 1 级 B. 2 级 C. 3 级 D. 4 级61. 以下硅锭编号有误的是 ( A C D )A.0310220 B.0322201 C.0315919 D.131800162. 以下是正确的出炉至交锭间隔时间：（ C D E）A.12 小时 B.1
10、8 小时 C.24 小时 D.30 小时 E.26 小时63. 坩埚检验应无 (ABCDE)等不良现象，在眼睛距等级面得标准处以 3m/min 速度扫视检查A.气泡 B.龟裂 C.针孔 D.皱皮 E.剥离64. 以下哪些供应商是生产颗粒纯料（ A B D）A.MEMC B.WACKER C.LDK D.SILEX E.洛阳中硅65. 以下哪些不规范操作会造成漏埚异常（ A B C E ）A.坩埚内砸料 B.边料间距未达标准 C.各类型硅料摆放未按标准摆放D.铸锭装料时硅料摆放位置不符合标准 E.硅料存在药液残留66. 断电后 DSS 炉程序弹出的掉电报警窗口中包括哪些参数？（ABCD）A、 断
11、电时功率百分比 B、断电时的温度C、 断电后退出自动运行的温度值 D、断电的累计时间值67. DSS 炉重要组成部分有（ABCDE）A、上、下炉体 B、 电源控制柜 C、电源配电柜 D、变压器铸锭工艺助理工程师考试题6E、冷却系统68. 公司的回收料有( A、B、C、D、E) A.边料 B.尾料 C.T2 料 D.硅块 E.碎片69. 多晶硅锭检测项目为(ABCE)A 电阻率 B 少子寿命 C PN 型 D TTV E IR70. 人类直接利用太阳能有三大技术领域，即 ( ABC )A 光热转换 B 光电转换 C 光化学转换 D 数模转换 E 风电转换71. 最常见的元素半导体材料有（ AB）
12、A 硅 B 锗 C 砷化镓 D 锑化铟 E 铁 72. 太阳电池的应用范围很广，可应用于（ A B C D E ）等。A 无人气象站 B 人造卫星 C 太阳能路灯 D 电视中继站 E 通讯站73. 自然界的物质通常以三种形态存在：（ A C D）A 固体 B 熔化 C 液体 D 气体 E 金刚石74. 晶体具有（ A B C ）A 规则的外形 B 一定的熔点 C 各向异性 D 各向同性 E 不规则的外形75. 在运行过程中有 ( A B C D E ) 五个步骤A 加热 B 溶解 C 长晶 D 退火 E 冷却76. 氮化硅制备方法有（ABCDE）A 硅粉直接氮化法 B 碳热还原二氧化硅法 C
13、自蔓燃法 D 高温气相反应法 E 等离子体气相反应法四、判断题77硅料国标中有对表面金属含量要求。 （ ） 78. 156 型开方后产生 20 块硅块，20 块边料。 （） 铸锭工艺助理工程师考试题779. 一个锭在开方后 A 区 N 型最长，C 区 N 型最短。 （）80. 隔热笼调零要用到 CB6。 （）81. 我们配料时杂质可以放进去，因为 DSS 可以提纯。 （）82. 坩埚的刷边刷底是没有顺序的。 （）83. 中材坩埚的性能指标中，二氧化硅的含量要达到 99.7%以上 （）84. 氮化硅是一种非常活泼的物质，常温下可与空气中的氧发生反应 （）85. 纯料碎块（fines）不需检测电阻
14、率。 （）86. 少子寿命的英文为:Liftine。 （）87. 太阳能电池片的电阻率一般要求在 2.6.cm 左右。 （）88. 经过物料部分选的所有硅料都可以直接使用 （）89. 多晶料晶格排列复杂(有花纹) （）90. DSS 炉有杂质提纯功能 （） 91. 配好的两埚料的掺杂可以互换装埚。 （）92. 员工为了加快行走速度，可以站在叉车上滑行。 （）93. DSS 断水后，炉子会自动进入 E-COOL。 （）94. 形容氮化硅规格使用“目” 来表示的。 ()95. 在装料操作中，由于硅料积压，所以可以同时几埚料一起装 ()五、简答题96 简述硅块少子寿命硅块体少子寿命与硅块体少子寿命的
15、区别？硅块少子寿命：硅块未经过任何处理后的硅块少子寿命值铸锭工艺助理工程师考试题8硅块体少子寿命：硅块经过去除头尾不良后的硅块少子寿命值97半导体材料的共性有什么?对热敏感,导电性能随温度变化而急剧变化.与金属的导电机制不同.对光、压力、磁等敏感.98说明 DSS 为什么采用 AR，而不是用氧气、氮气和氦气？氩气为惰性气体，化学性能不活泼，在高温条件下，不易与硅和 DSS 其他备件反映。氧气：化学性能活泼，易与硅和 DSS 其他备件反映。氮气：高温条件下，容易与硅产生氮化硅。氦气：价格高昂，且属于不可再生气体，不容易通过化工等技术手段得到99对金属杂质含量而言,多晶硅的纯度高于多少 ?单晶硅的
16、纯度高于多少?制作太阳能电池多晶硅的纯度应大于多少?冶金级硅的纯度是多少?多晶硅的纯度高于 9个”9”单晶硅的纯度高于 11个”9”制作太阳能电池多晶硅的纯度大于 6个”9”冶金级硅的纯度 2至 3个”9”100 TC1 失效，如何处理？可复位：则复位，记得 P./T转换，检查参数是否与配方一致。不可复位：调用以前相同配方相同重量的正常功率曲线控制，并注意压力（温度）变化。如压力升高，可能存在泄露（改造后泄露的可能性小得多） 。如温度高于 1575度可能会自动关闭加热器，我们可以拔掉 TC1运行。如曲线不同步时可先重新调用新的相同配方相同重量正常的功率曲线，若还不行可往下跳一步试试，如再不行我
17、们可以重启 LCM4（要遵循重启 LCM4操作规程） 。101. 断水情况下，你主要关注什么？如何处理？主要关注：压力、水流、温度变化、断水前的功率温度值；断水时间过长可手动进入紧急冷却，如果断水时间较短，温度变化没有超过参数值，可等待水恢复连接电源，同时加上功率使温度升到当前值再恢复运行。102. 运行中如何处理 M 阶段时功率曲线波动大？运行中功率波动大是由于 TC1 温度探测组件引起，它不会对 DSS 炉运行造成太大的危害。但功率一旦波动到一定程度会引发温度误差报警。遇到这种情况我们可以手动控制一下，方法为：暂停模式下选择 P 控制，设定功率 28%左右，等温度稍微稳定后（大概需要 7-
18、8 分钟）转为 T 控制运行即可103. 在装料和运行前，我们要做哪些检查？水系统、真空泵、Ar、CDA、热区、溢流棉、溢流线、配方、叉车、护板、螺杆、螺帽、铸锭工艺助理工程师考试题9蜂鸣器（包括 SPILL及 TCOT报警器） 、在维护窗口中的电压电流值等。104. 硅锭编号定义是什么？如下硅锭号 0102201 是否正确，如不正确请解释，如正常请说明代表意义。正确。硅锭编号定义如下:0 1 022 01出锭年份 出锭月份 出锭 DSS 号当月该炉出锭数 105. TC1、TC2 和 TCOT的作用是什么TC1：测炉腔内实际温度.TCOT：超高温报警.TC2：用于测量 DS-BLOCK温度1
19、06. 坩埚喷氮化硅在 DSS运行中的作用是什么？隔离硅液与坩埚直接接触以防发生溢流；硅锭出炉后更容易与坩埚分开。计算/分析题107. 计算 480KG 硅锭在合格率为 96%的条件下出材率。理论高度=480 /2.33/0.84/0.84=292mm有效高度=292-45=247mm有效重量=0.156*0.156*2.33*247*25*0.96/480=70.03%108. 在硅材料中，简述 PPBA 及 PPBW 的含义，计算 PPBA 和 PPBW 的关系（百万分之一），ppb（十亿分之一） a 是原子数 w 是质量ppba 是以原子个数的十亿分之一ppbw是以质量分数的十亿分之一杂
20、质原理量为 N，PPBA 系数为 MPPBW=（M*N）/28110. 一个 508KG 硅锭，如果该锭的合格率为 100%，则该锭单个硅块的理论可切片长度是多少？（坩埚尺寸为 845mm*845mm）硅块长度：508/0.845/0.845/2330=305.3475mm100%合格率硅块可切片长度：305.3475-45=260.3475mm111 一个 508KG 硅锭，如果该锭的合格率为 90%，则该锭头尾料的理论重量是多少？铸锭工艺助理工程师考试题10（坩埚尺寸为 845mm*845mm，不算边料重量）硅块长度：508/0.845/0.845/2330=305.3475mm该锭头尾料
21、的理论重量：0.3053475*0.1*0.156*0.156*25*2330=43.2852KG112. 切片车间收集了 120KG 的硅粉，按当前工艺回收率 30%，问每个硅锭按 800g 硅粉刷涂量，切片车间 120KG 的硅粉可用于刷多少个硅锭？回收后可使用于刷涂的硅粉总量：120*0.3=36KG可刷涂硅锭个数：36/0.8=45 个113. 有方形坩埚一个，型号为 720 型坩埚，内尺寸的长宽为 690mm，内高度为400mm，在离坩埚顶部 5cm 的位置以上不喷涂氮化硅涂层，现提供 300g 氮化硅，求出此坩埚需喷涂的面积和单位面积上需喷涂的氮化硅重量。 （损耗忽略不计）24.1
22、)504(*690*69mS22/.8.13 gmgsM114. 270KG（或 450KG）固态和液态硅的高度为多少？答：公式:MP.V=P.S.H H270固=m/p.s=270kg/（2.33*1000kg/m3*0.69m*0.69m）=0.243mH270液=m/p.s=270kg/（2.53*1000kg/m3*0.69m*0.69m）=0.224mH450固=m/p.s=270kg/（2.33*1000kg/m3*0.84m*0.84m）=0.274m115. 有个硅锭，硅块长度分布如下：A1 235 C14 248B2 236 B15 255B3 237 B16 213B4 238 C17 240A5 222 C18 242B6 240 C19 236C7 241 B20 248C8 242 A21 239C9 246 B22 245B10 244 B23 248B11 249 B24 0C12 250 A25 250C13 252
