四章扫描电子显微镜10/23/2022 1v 主 要 优 点 ： 放 大 倍 数 大 、 制 样 方 便 、 分 辨 率 高 、 景 深大等v 目前广泛应用于材料、生物等研究领域v 扫 描 电 子 显 微 镜 的 成 象 原 理 和 光 学 显 微 镜 、 透 射 电 子显 微 镜 均 不 同 ， 它 不 是 以 透 镜 放 大 成 象 ， 而 是 以 类 似电 视 摄 影 显 象 的 方 式 、 用 细 聚 焦 电 子 束 在 样 品 表 面 扫描 时 激 发 产 生 的 某 些 物 理 信 号 来 调 制 成 象 ， 近 年 扫 描电 镜 多 与 波 谱 仪 、 能 谱 仪 等 组 合 构 成 用 途 广 泛 的 多 功能仪器。10/23/2022 2HPU-LQ第一节 电子束与固体样品相互作用 如图，当高能电子束轰击样品表面时，由于入射电子束与样品间的相互作用，以上的入射电子能量将转变成热能，其余约的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，它们包括：10/23/2022 3HPU-LQ一、二次电子v 二次电子是被入射电子轰击出来的核外电子，它来自于样品表面 左右() 区域，
