潔淨室基本要求 (1) n 空氣中的微塵粒子之數量少於一定標準。n 使用高效率濾網(HEPA, ULPA)n 使用不發塵材料(庫板、地板、燈具等)n 時常清潔n 使用不鏽鋼材質n 能防止外界微塵粒子的進入。 潔淨室的氣密性考量n 外氣先經外氣空調箱過濾(初級、袋型、HEPA濾網)，進潔淨室後有ULPA濾網過濾n 潔淨室保持正壓(約15 Pa)n 排氣與進氣量的平衡(進氣排氣)n 室內產生的微塵粒子或有害氣體能迅速排出室外。 換氣次數大,氣流保持順暢潔淨室基本要求 (2) n 能維持溫度、濕度及室壓於一定的標準。n 除濕能力(潛熱與顯熱)n 冬季加濕能力(蒸氣加濕)n 精密的控制(Sensor與閥件)n 乾盤管的熱交換能力與數量n 外氣空調箱與Exhaust對潔淨室的壓力控制n 能防止靜電、電磁的干擾。n 良好的接地n 材料的選擇(庫板塗料、導電地板)n Ionizer的安裝n 適當的管理n 安全因素及節約能源的考量。 Class10：10顆/英呎3Class100：100顆/英呎3209 E美國聯邦標準粒徑0.3m潔淨室的氣流速度與換氣次數( I E ST - R P - C C 0
