物理实验室专业设备清单标项一设备名称数量直流辉光等离子体实验装置2套多功能微波等离子体实验装置多功能微波等离子体实验装置2套超声波清洗机2台制氢机2套标项二设备名称数量多功能真空实验装置多功能真空实验仪1套功能薄膜特性测试仪1套低维功能材料研究系统直流磁控溅射镀膜装置1套薄膜厚度测定仪1套显微维氏硬度计1套高倍光学显微镜1套低温和真空系统循环水冷却机组1套电容耦合射频等离子体镀膜装置1套全息光学实验系统及附件(带光学平台)2套光学图象信息处理实验系统及附件(不带光学平台2套晶体电光调制实验系统1套空间光调制器2套光纤信息与光通信实验系统2套标项三设备名称数量亥姆霍兹线圈磁场测量仪16多普勒效应综合实验仪16超声光栅声速仪5斯特林热机2标项四设备名称数量辉光等离子体实验装置2电学设计性实验装置16标项五设备名称数量
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