第7章、定量分析方法1. 一般定量分析方法2. 元素灵敏度因子法3. 定量分析方法步骤4. 定量精确度与误差来源5. 定量分析例子7.1 、一般定量分析方法 定量可分成两类：绝对定量和相对定量。绝对定量一般需要检定的标准样品，通常并不常用。相对定量更为常用，并包括一批多个样品间的比较。 在表面分析研究中我们不仅需要定性地确定试样的元素种类及其化学状态，而且希望能测得它们的含量。对谱线强度作出定量解释。 XPS由于其对均相固体材料容易得到极好的定量精确性，常用于获取实验式。 XPS定量分析的关键是要把所观测到的信号强度转变成元素的含量，即将谱峰面积转变成相应元素的含量。这里我们定义谱峰下所属面积为谱线强度。一般定量分析方法 一般实用XPS定量方法可以概括为标样法，元素灵敏度因子法和第一性原理方法。 标样法需制备一定数量与被测样品相近的标准样品作为参考，同时进行比较测量。且标样的表面结构和组成难于长期稳定和重复使用，故一般实验研究均不采用。 目前XPS定量分析常采用元素灵敏度因子法。该方法利用特定元素谱线强度作参考标准，测得其它元素相对谱线强度，求得各元素的相对含量。7.7.1、第一性原理
