微机电系统第二章MEMS设计基础课件.ppt

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第二章第二章MEMSMEMS设计基础设计基础内容提要 硅晶体结构与微观力学 微尺度效应MEMS 中的材料应用及进展MEMS 设计的基本问题MEMS 设计的具体方法提问1. MEMS 的分类和特点?2. MEMS 的典型产品有哪些?分别应用在哪些领域?3. MEMS 的设计涉及那些学科?4. 可以用作MEMS 中的材料有哪些?四、 MEMS设计的基本问题MEMS设计的目的分为三类:(1) (1) 作为 作为 技术探索 技术探索 而设计的组件或系统:一般是为了验 而设计的组件或系统:一般是为了验证研究者的某种设计思想,测试某种制作工艺的合理性与 证研究者的某种设计思想,测试某种制作工艺的合理性与局限性,因此,只需制作少量的试样就够了。 局限性,因此,只需制作少量的试样就够了。(2) (2) 作为 作为 仪器研发 仪器研发 而设计的组件或系统:设计的设备将 而设计的组件或系统:设计的设备将用于完成某种科研活动或某种高度专业化的任务,对这种 用于完成某种科研活动或某种高度专业化的任务,对这种目的的设计,必须注意仪器、设备的准确性,而对产品需 目的的设计,必须注意仪器、设备的准确性,而对产品需求

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