S-4100扫描电镜操作手册.docx

S-4100扫描电镜操作手册1 名称：ScanningElectronMicroscopeS-4100OperationManual2 目的：为操作S-4100机台之依据3 范围：3.1 适用机台：S-4100ScanningElectronMicroscope3.2 机台结构与外观3.3机台位置:SEM/EDX分析实验室4名词定义：SEM:ScanningElectronMicroscope扫描式电子显微镜S.C.:SpecimenChamber试片真空室S.E.C.:SpecimenExchangeChamber试片转换室HV:HighVoltage高压EDX:EnergyDispersiveX-raySpectrum5负责单位：5.1 接受各部门委托,操作电子显微镜的工作。5.2操作S-4100之人员，需经过FA负责工程师的资格鉴定，方可操作机台。5.3严禁FA以外人员操作S-4100.6操作步骤6.1正常操作流程图