XPS基本原理1. XPS是什么？它是定性分析手段还是定量分析手段？XPS,全称为X-rayPhotoelectronSpectroscopy（X射线光电子能谱），早期也被称为ESCA（ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis），是一种使用电子谱仪测量X-射线光子辐照时样品表面所发射出的光电子和俄歇电子能量分布的方法。XPS可用于定性分析以及半定量分析,一般从XPS图谱的峰位和峰形获得样品表面元素成分、化学态和分子结构等信息，从峰强可获得样品表面元素含量或浓度。Fhplci-Emi吐Ejeulrg/i占fw1.6i(V)asctjpeonlyfromthetopsurface(70-71QA)offhesampleEicctronEnergyAnalyze旧-工酿专(messtiiBtrAwieJitmnw心ofe.GctrcEfecTronCoffaationLensSi(2p)XPSsi0nsi&fKtmaSiliconW&ferElectronDetecto
