MEMS复习题1. MEMS的概念，MEMS产品应用。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是指微型化的器件或器件组合，把电子功能与机械的、光学的或其他的功能形结合的综合集成系统，采用微型结构(集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源)，使之能在极小的空间内达到智能化的功效。MEMS是MicroElectroMechanincalSystem的缩写，即微机电系统，专指外形轮廓尺寸在毫米级以下，构成它的机械零件和半导体元器件尺寸在微米至纳米级，可对声、光、热、磁、压力、运动等自然信息进行感知、识别、控制和处理的微型机电装置。微机电系统(MEMS)主要特点在于：(1)体积小、精度高、质量轻;(2)性能稳定、可靠性高；(3)能耗低，灵敏度和工作效率高；(4)多功能及智能化;(5)可以实现低成本大批量生产。民用：MEMS对航空、航天、兵器、水下、汽车、信息、环境、生物工程、医疗等领域的发展正在产生重大影响，将使许多工业产品发生质的变化和飞跃。军用：精确化、轻量化、低能耗是武器装备的主要发展趋势，这些特点
