MEMS加速度计的原理及运用高鹏黄国胜200619目录加速度计基本原理分析MEMS简介微加速度计的类型差分电容式加速度计的结构模型及其工作原理MEMS微加速度计的制造工艺MEMS微加速度计主要性能指标的设计和控制MEMS加速度计的其它结构各厂商MEMS加速芯片参数对比线性度灵敏度与功耗2MEMS加速度计国内外现状3微加速度计的发展趋势4MEMS加速度计应用前景分析5用MEMS加速度计测量加速度、角度简介随着MEMS技术的发展，惯性传感器件在过去的几年中成为最成功，应用最广泛的微机电系统器件之一，而微加速度计（microaccelerometer）就是惯性传感器件的杰出代表。微加速度计的理论基础就是牛顿第二定律，根据基本的物理原理，在一个系统内部，速度是无法测量的，但却可以测量其加速度。如果初速度已知，就可以通过积分计算出线速度，进而可以计算出直线位移。结合陀螺仪（用来测角速度），就可以对物体进行精确定位。根据这一原理，人们很早就利用加速度计和陀螺进行轮船，飞机和航天器的导航，近年来，人们又把这项技
