第四讲：体硅加工1多晶硅有很多优点，也有非常系统深入的研究积累，但是人们经常费力地刻蚀单晶硅以获得硅膜：选择单晶硅作为MEMS的结构材料的主要因素：1.基于IC技术的基础，硅提供了集成制造的可能性2对单晶硅各种性质特别是物理特性的研究非常透彻3. 硅相关的技术和设备可以借用IC工业的积累4. 没有那一种高纯度的单晶材料能够拥有像硅材料这样高的性价比，并且可以大批量廉价提供。5. 单晶硅的许多重要特性非常适合作为微结构材料。除了精细结构成型加工特性之外，它的机械特性、压阻效应、结构稳定性等也是吸引人的优点600度以下不会蠕变，除非破裂，否则会回复固有形状。硅的物理特性单晶晶体结构立方晶体，金刚石结构比重23g/cm2断裂强度1OO0Mpa屈服强度1OO-20OMpa弹性模量160Gpa压阻系数-120120热导率150WM/K热膨胀系数2.5x10-6/k关于脆裂(breaking),由于单晶硅晶体的完整性，一旦有任何细微裂纹产生，就没有制约的因素存在(比如晶界)，在张力作用下迅速扩展，
