能量色散X射线荧光光谱仪校准方法1范围本规范适用于新生产、使用中和修理后的能量色散X射线荧光光谱仪的校准。2 引用文献JJG810-93波长色散X射线荧光光谱仪检定规程3 术语和计量单位3.1分辨力检测器的分辨力以脉冲高度分布的半峰宽(eV)来表示,简写为Ro3.2信噪比信噪比以镉元素Ka线脉冲高度与噪声的比值(S/N)来表示。其中,S是镉元素的X射线荧光强度,N是背景值。4 概述能量色散X射线荧光光谱仪用于固体、粉末或液体物质的元素分析。工作的基本原理是X射线管发出的初级X射线激发试样中的原子,测定由此产生的X射线的荧光的能量强度,根据各种元素特征X荧光光谱线的能量强度进行元素的定性和定量分析。5 计量性能要求5.1外观5.1.1仪器应有仪器名称、制造厂、出厂日期和编号的标志。5.1.2所有部件连接良好、动作正常。5.1.3面板上的仪表、指示灯和安全保护装置工作正常。5.2技术性能技术性能包括仪器分辨力、信噪比、仪器的计数线性、重复性、稳定性。5.2.1分辨力:镉元素Ka线脉冲高度的半峰宽应优于260eV。5