中国扫描电子显微镜的发展历史1958年，中国科学院科学仪器厂成立，期间，为“两弹一星”加工制造做出重要贡献。1965年，中国科学院科学仪器厂设计研制我国第一台DX-2型透射式电子显微镜。19751975年，中国科学院科学仪器厂自行研制成功电子显微镜DX-3型，主要指标达当时国际先进水平。1978年获全国科学大会一等奖19771977年，中国科学院科学仪器厂研制成功X-3F双道X射线光谱仪。与DX-3扫描电镜匹配，发展为DX-3A分析扫描电镜。获1978-1979年中国科学院重大科技成果一等奖。19801980年，中国科学院科学仪器厂研制成功DX-5型扫描电镜，获中国科学院1986年科技进步奖。19831983年，中国科学院科学仪器厂从美国Amray公司引进微机控制、分辨本领6nm,功能齐全的Amray-1000B扫描电镜生产技术。19851985年，中国科学院科学仪器厂生产了KYKY-1000B扫描电镜，共生产100台。获1988年国家科技进步奖二等奖，并列为我国1979-1988年重大科技成果。198
