1、-招 标 文 书（正文要求含下列所有标号的招标项目）公司：我校采取招标方式，采购有关仪器设备。现发出招标文书，贵公司若有意竞标，可选择下列标号的招标项目，按要求填写招标文件，加盖印章，于 2009 年 12 月 23 日 17 时前，密封报达（寄达）我校，过时作弃标处理。要求：1、交货期限：2009 年 12 月 30 日前（或按合同要求） 。2、交货地点：扬州大学。3、投标报价应包含：仪器设备送达实验室费用及保险费用；按要求进行安装调试所需费用；按规定应支付的税费；合同条款中所列的售后服务费用等。4、付款方式：验收合格后付款。5、售后服务：上门服务，响应时间在 24 小时以内。修复期不超过一
2、周，超过一周仍不能修复，予以调换同型号新设备。6、主机及附件：按原制造厂的标准、型号、规格及全套原装附件标配。具有产品合格证。7、资质证明：参加我处招标的投标公司，须附下列资料：、企业营业执照副本及复印件。、法人代表身份证明或法定代表人对业务代表授权书。、企业基本情况介绍。-、银行出具的资信证明。、企业资质证明、品牌代理销售证书、企业业绩。8、收到标书后，有需要澄清的问题，请在投标截止日期前与我们联系。确定中标单位后通知具体签约时间。对未确定中标的单位不再另行通知。9、投标公司请将所投标的不同编号的投标文书,在送(寄) 件内分别封装，并在内封面分别注清各招标文书文号。因字迹不清,标号不明的标书
3、不予受理。10、工本费：本招标文件由投标单位自行购买，每份人民币贰佰元整，无论中标与否恕不退还；（如从邮局汇款请汇至：扬州大学实验室与设备管理处设备科）投标工本费应提前由银行汇至：扬州大学（本地：转帐支票；异地：银行汇票） 开户行：工行汶河支行 帐号：1108022009000002048在开标时，对于未按要求提交投标工本费的投标，将视其为非响应性投标而予以拒绝。11、本标书确定中标项目后不得修改或拒签。违规投标商在一定时期内不受理所投标书，并没收其投标保证金。12、中标的厂商在收到中标通知后，签订供货合同前需提交合同款的 1%作为履约保证金，合同履行完毕不计利息退还。特别提醒：请贵单位在银行
4、或邮局汇款后将汇款回单及时传真到 0514-87979359 并注明招标编号。- 扬州大学实验室与设备管理处设备科 地 址：扬州大学南路 88 号联 系 人：杨曦、徐钟林 邮 编： 225009电 话：0514-87971860 传 真：051487979359技术咨询：技术咨询：0514-87975489 毛翔宇-2009 年 12 月 18 日(请投标公司按下列格式填写) 编号：YX09-12-44 号名 称 型号规格 数量 货到验收合格付款总价 厂家 质保时间球型脉冲激光淀积系统 附后 1 三年合计（人民币）一、设备主要技术性能指标：1. 真空室的结构形式及尺寸：该设备系由一个球形真空室
5、加带一个进样室组成的超高真空系统。在进样真空室的左侧通过CF100 插板阀接装球形真空室；在进样真空室的右侧接装一套磁力样品传递机构。球形真空室采用一套 FB1200+2XZ-8 涡轮分子泵机组进行抽气；进样真空室的抽气采用主室一套机组进行旁抽。1.1 主沉积腔室为球形结构，内径 450，1Cr18Ni9Ti 不锈钢制造。真空室上开出的法兰接口为： 基片样品台（加热样品炉）组件，接口 CF150 法兰 1 个，无氧铜圈密封。 四工位转靶组件，接口 CF150 法兰 1 个，无氧铜密封。 激光入射窗口，相互垂直，接口 CF63 法兰 2 个，无氧铜圈密封， 透过 248nm 石英窗。 顶面观察窗
6、口，CF100 法兰 1 个，无氧铜圈密封。 侧面观察窗口 CF63 法兰 1 个，无氧铜圈密封。 铰链活动开门，接口 200 胶圈密封法兰 1 个。 分子泵抽气口，接口 CF200 法兰 1 个，无氧铜圈密封。 样品室接口，接口 CF100 法兰 1 个，无氧铜圈密封。 CF50 接口法兰 1 个（备用） 。 CF35 接口法兰 4 个（烘烤、照明、规管及备用） 。 CF16 接口法兰 2 个（进气、充气阀门等用） 。 KF16 接口法兰 1 个（接热偶规管） 。1.2 进样室系将主室分开进行气份隔离与换样之用，真空室为卧式圆筒型，尺寸为240L380（mm） ，左侧用 CF100 闸板阀与
7、主室相连接，右侧安装磁力样品传递机构，上-面开出 CF100 法兰接管，其上安装可上下调节的样品库。前面开一 100 的门，门上有窗。下面开出 CF100 法兰口安装 CF100 闸板阀，再接一 100 抽气管道联到主真空室的泵口处。2. 真空获得与测量：2.1 球形真空室：球形真空室采用一台 TFB1200 分子泵+2XZ-8D 机械泵抽气球形室极限真空：经 2436 小时烘烤除气后达 510-6Pa（须将球形室与样品室之间的闸板阀关闭）抽气速率：从大气开始抽气，在40 分钟内，该室真空度达 6.610-4Pa漏率：110 -8PaL/S2.2 进样室：采用同一台 FB1200 分子泵+2X
8、Z-8D 机械泵机组抽气，并设置旁路抽气回路。在打开球形室与样品室之间的闸板阀之后，进样室极限真空：经 24 小时烘烤除气后达 310-4Pa（实际是球形室与样品室两个室的真空度）抽气速率：从大气开始抽气，在40 分钟内，该室真空度达 6.610-4Pa。漏率：110 -8PaL/S3、 衬底加热台组件：3.1 基片尺寸: 2020mm 样品托：50mm3.2 基片加热，最高温度 9001，热电偶反馈，FP93 表控温。真空室内充氧气：采用铂金（Pt）丝加热，最高温度9001，可控可调。3.3 基片可连续回转,转速 520 转/分可调，直流调速电机控制。3.4 基片台相对于转靶距离可调，其最小
9、距离为 40mm。最大距离为 90mm。4、转靶：四个靶位，每个靶位 40，挡板只露出一个靶位，激光束要求打在最上面靶位，转靶具有公转、自转功能。自转采用直流电机控制，自转速度 15 转/分，公转采用步进电机+微机控制转靶到位（也可手动调节）(用户提供微机)5、 激光入射窗口：63 石英玻璃窗透过 248nm，两窗成 90布置。6、 MFC 一路质量流量计控制进气 ：0-100sccm；7、 电源系统：-7.1 样品加热控温电源：FP93 表控温，样品加热温度 900。7.2 样品加热旋转控制电源7.3 四工位转靶公转与自转控制电源7.4 真空室内设置烘烤(采用卤钨灯 500W4 支并联，可调
10、电位器控制，不测温)、照明（采用50W，24V 照明灯电钮控制） 、水压报警装置（水压低于 2kg/cm2 自动报警） 。二、 设备主要组成及报价：(单位:元)序号 设备名称 型号规格 生产厂家 数量 价 格 真空获得与测量：1、 球形真空室：1.1 涡轮分子泵 TFB1200（保修三年）北京泰岳恒真空技术研究所1 台1.2 机械泵 2XZ-8D（按南光公司规定执行）成都南光引进Balzes 公司技术1 台1.3 抽气管道 液压波纹管 L=800mm 沈阳弗莱西波 1 只1.4 闸板阀 仿 VAT 型 CF200 沈阳新蓝天 1 台1.5 真空测量计 ZDF5201 超高真空计 成都睿宝 1
11、台1.6 小计：2、 进样室：2.1 抽气插板阀 VAT 型 CF100 沈阳新蓝天 1 台2.2 进样室抽气管道100 波纹管连接 沈阳弗莱西波 1 米2.2 真空测量计: ZDF5227 电离与热偶计 成都睿宝 1 个2.3 旁抽系统 旁抽角阀 CF35 沈阳新蓝天 1 只旁抽电磁挡板阀 GDC-J40上海阀门厂 1 只旁抽管道，快卸法兰、卡箍沈阳新蓝天 1 套2.4 小计： 真空室系统：1、 球形真空室：1.1 球形真空腔室: 450(内径) =4，200氟胶圈门一个 1Cr18Ni9Ti沈阳新蓝天 1 台1.2 四工位转靶组件靶材直径 40 沈阳新蓝天 1 套1.3 基片加热台组件基片
12、尺寸 2020（mm）用铂金加热丝 2.4m 制作炉子 沈阳新蓝天 1 套1.4 激光入射石英窗63 透 248nm 北京电子部 11 所 2 块-1.5 观察窗 CF100 锦州玻璃厂 1 块CF63 锦州玻璃厂 1 块1.6 观察窗挡板 CF16 磁力转轴挡板 沈阳新蓝天 2 套1.7 陶封电极引线 CF35(四芯) 锦州陶瓷封接厂 1 块1.8 转靶挡板 沈阳新蓝天 1 套1.9 基片挡板 沈阳新蓝天 1 套1.10 小计：2、 进样室：2.1 真空腔室: 252(内径) L390 卧式 =4，100 氟胶圈前门一个沈阳新蓝天 1 台2.2 与主真空室相接闸板阀GV100 沈阳新蓝天 1
13、 台2.3 样品库 装 6 片样品,可上下调节距离,左右换位.沈阳新蓝天 1 台2.4 陶封电极引线 CF35(四芯) 锦州陶瓷封接厂 1 块磁力样品传递机构CYC63 L=900mm 沈阳新蓝天 1 套2.5 小计： 安装机架 方钢 5050 支撑架1300700850三面围板喷塑,台面铺不锈钢板沈阳新蓝天 1 台 电源：1 基片加热控温电源FP93 程序控温表 日本岛电公司产品 1 台2 转靶公转步进电机及控制电源75BC380 步进电机+驱动器 常州步进电机厂 1 套3 转靶自转 75BC380 步进电机及控制电源常州步进电机厂 1 套4 基片台自转 75BC380 步进电机及控制电源常
14、州步进电机厂 1 套5 真空室照明、烘烤电源烘烤功率 1500W/1 室 沈阳新蓝天 1 台6 电源机柜 H=1.7M 沈阳机柜厂 2 台7 机箱和面板 沈阳机柜厂 1 套8 小计： 进气系统1 “MFC”质量流量控制器2 路进气/1 套电源050sccm；0100sccm北京七星华创 1 套2 气路截止阀 CF16 USD-Swagelok 3 只3 不锈钢管及卡 6 USD-Swagelok 全套-箍、卡套4 小计： 辅助配件1 各种规格氟橡胶圈含备件 1 套 铁岭橡胶研究所 2 套2 各种不锈钢螺栓、螺母、垫圈备经常拆卸法兰口的螺栓、螺母、垫圈外购 全套3 无氧铜垫圈 含备件 1 套 北
15、京科仪 2 套4 水压报警器 大连报警器厂 1 套5 专用扳手，工具1 套6 易损件 备件（电器元件） 1 套7 衬底托 备件 2 套小计：8、 合计：9、 技术设计与培训费、安装调试及售后服务费、包装运输费、税金10、 总计：11、 设备供货期：自甲乙双方签定合同之日起，乙方五个月准时发货（见发货单）12、 质保期：设备在甲方最后验收合格之日起，乙方免费保修三年并终身维修。三、商务及服务要求：1、投标产品成熟、稳定，有较多成功的实例，有至少 3 个典型用户（需提供相关证明材料原件，并提供学校名称、联系方式） ，保证正常教学不受影响。2、投标书中须对所有的设备提供其生产厂家、技术特点、性能指标
16、等详细情况说明。3、投标书中应承诺：免费安装调试系统，负责培训相关人员。4、投标书中应承诺：经使用合格后付款。5、产品安装投入使用后，供货商须派人员随堂跟踪服务，使教师学会熟练使用。厂方具有良好的信誉，售后服务及时到位。6、送货上门，免费安装调试。7、售后响应速度为 5 小时内登门服务。24 小时内修复，24 小时不能修复的须免费提供备用设备至修复。8、从设备验收之日起所有设备免费保修 3 年。管理软件终身免费升级，厂家应出具软件免费升级证明。9、超出保修期后，仍需提供维护服务，只能收取成本费。要求：技术标书和价格标书分别封装，厂家所报机器必须提供型号及详细技术参数。报价包括系统集成，含工程安装调试、税收、配件等其它费用。设备必须现场安装调试到位、预装指定软件，明确售后服务承诺。 （投标文书外封面注明招标文书号）-投标公司名称（盖章） 投标人：（签字）联系电话： 传真号：E-mail: 年 月 日白酒新熟山中归，黄鸡啄黍秋正肥。呼童烹鸡酌白酒，儿女嬉笑牵人衣。高歌取醉欲自慰，起舞落日争光辉。游说万乘苦不早，著鞭跨马涉远道。会稽愚妇轻买臣，余亦辞家西入秦。仰天大笑出门去，我辈岂是蓬蒿人。春晓作者：孟浩然春眠不觉晓，处处闻啼鸟。夜来风雨声，花落知多少。 鹿柴作者：王维空山不见人，但闻人语响。 返影入深林，复照青苔上。 相思作者：王维红豆生南国，春来发几枝。愿君多采撷，此物最相思。
