电子透镜的像差课件.pptx

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电子光学第五章 电子透镜的像差(4 )电子的密度不大,忽略了空间电荷影响; (1 )电磁场的严格旋转对称;(2 )电子满足近轴条件,即建立在求解高斯(旁轴)轨迹方程的基础上;(3 )电子的初速相同(没有能散); 从前面的章节中,我们知道旋转对称电磁场对带电粒子具有聚焦成像的特性,由此可以构成圆电子透镜。 根据圆电子透镜结构和形式,以及轴上的电位和磁位分布可以定义不同形式的圆电子透镜。 根据旁轴轨迹方程可以得到圆电子透镜对带电粒子具有的理想聚焦成像性质。 此时,得到的像是几何相似的,清晰的,原因是理想聚焦成像是建立在以下几个条件下:5.1 像差产生的原因和像差的分类1 像差产生的原因由于电极加工和装配的不对称破坏了旋转对称条件;但实际情况下,上述的假设条件是不能满足的,如:(1 )旁轴条件的不满足。 要达到旁轴轨迹的条件,需要限制光阑孔来保证旁轴条件,但是,需要一定的粒子束流密度时,则需要较大的孔径保证,这时电子运动可能不满足旁轴条件;(2 )过小的光阑孔会发生衍射现象;(3 )旋转对称条件的不满足。(4 )初始条件能量和加速能量一致性的不满足。由于初始速度分散和电源的不稳定破坏了能量的

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