电 子 厂洁 净 室 系 统简 介大 纲lHJT C/R 介紹l洁净室系统型式 l为何需要Clean Room*洁净室的定义*洁净等级定义*制程线宽与洁净度之关系l Clean Room之环境因子*影响C/R洁净度的环境因子*风管系统* FFU系統*轴流风机系统*架构表及主要系统介绍*Layout 说明*MAU与空气循环系统洁 净 室 的 定 义u洁净室为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而给于特别设计之房间以符合制程工艺之需求 回主画面洁净等级回主画面制程线宽与洁净度之关系回主画面污染物大小0.3um粒径肉眼可视粒径人类头发直径-100um回主画面影响C/R洁净度之环境因子J温度K湿度L压力S微尘粒子照度v微振动M噪声h静电化学物质回主画面洁净室空调系统型式u风管系统uFFU系統u轴流风机系统*以风管输送洁净空气*循环空调箱兼处理外气*天花空间为微负压气室*独立设置外气空调箱*天花空间为正压气室*独立设置外气空调箱回主画面风管系统(循环空调箱兼处理外气)洁
