基础知识培训讲座第三章 TFT-LCD制造技术第一节 Array 工艺第二节 Cell 工艺第三节 Module 工艺第四节 清洗工艺总论: TFT-LCD的基本制造流程在玻璃基板上形成TFT电路、 像素电极以及必要的引线和各种标记形成液晶盒，组建完整的光学系统组装驱动电路和背光源，形成独立的，标准外部接口的模块 第一节 Array工艺 1.1 Sputter 1.2 PECVD 1.3 Photo 1.4 Etch沉积 清洗 PR涂附 曝光 显影刻蚀PR剥离 检查Wet EtchDry EtchArray概论-Array 工艺流程GlassGlassGate Metal DepositionGate PatterningSiNx Depositioni a-Si Depositionn+ a-Si DepositionActive PatterningData Metal DepositionData Metal Patterningn+ a-Si EtchSiNx DepositionVia Hole PatterningITO DepositionPixel Patterning
