晶圆生产常用名词介绍课件.pptx

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- 0 -Index 半导体工厂基础生产名词 生产流通名次 产能相关的名词 Capacity计算原理 产能的影响因素 生产与生产管理系统生产指标的定义及管控 生产的概念 生产管理系统及生产指标 CVP/OTD&CT的定义 CVP/CT的管控 CT、output与WIP、Capacity的关系 OEE 优先级 yield- 1 -第一章 半导体厂基础生产类名词 - 2 -1.1生产流通名词 WIP:在制品,wafer in process的缩写 EffectiveWIP: 在线(不含customer hold)圆片中产出标记不为P和FILLER的圆片 BUFFER: 某设备大类前等待加工产品的数量,不含RUN的产品(不含HOLD) MOVE:圆片的制程步骤移动数量,一个圆片在PROMIS流程中每移动一步为一个MOVE 有效MOVE:在线(不含customer hold)圆片中产出标记不为P和FILLER的圆片产生的MOVE Stage:同一制程目的的step合起来称为一个stage; Turnratio:周转率,Move与WIP的比值,衡量流通速度的指标。 =Move / WIP REP

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