激光干涉仪使用技巧讲解.doc

厨静堂鸯溅斌技术）亭第弘誊第麓激光干涉仪使用技巧口洫魏纯（广州市计最检测技术研究院，广东广州）瓣萎：本文讨论了激光予涉仪在使用巾的准直等技礴，用户在实际使用中增加葺芒件以及维护巾邋蓟的同舔。燕键词：激光平涉仪；准直引言高性能激光干涉仪具有快速、高准确测量的优点，是校准数字机床、坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器，弦者所在单位使用的是英国公闭生产的激光干涉仪，具有性能稳定，使罱方便等特点。通过较长时闯使用，作者认为测量人员除了要考虑环境、温度、原理等影响测量的常规因素外，掌握一些激光干涉仪的使用技巧会使测量互作事半功倍。原理介绍激光干涉仪是根据光学千涉基本原理设计磊成酌。从激光器射出的激光束有单一频率，其标称波长隽，且其长期波长稳定健（真空状态）要高于。当此光束抵达偏振分光镜时，会被分为两道光束一一道反射光糯一道透射光。这两道光射向其反光镜，然后透过分光