固体薄膜材料的制备2022/11/29 2022/11/29 2 2真空技术基础 真空及真空的常用单位 真空的分类 真空泵 真空的测量2022/11/29 2022/11/29 3 3真空及其单位 真空是指低于一个大气压的气体空间。常用“真空度”度量。真空度越高，压强越小。 常用计量单位：Pa, Torr, mmHg, bar, atm.。关系如下： 1mmHg=133.322Pa, 1 Torr=atm/760=133.322Pa1mmHg 1 bar=105Pa2022/11/29 2022/11/29 4 4l粗真空：11051102Pa 目的获得压力差。电容器生产中的真空侵渍工艺l低真空：1102110-1Pa 真空热处理。l高真空：110-1110-6Pa 真空蒸发。l超高真空：110-6Pa 得到纯净的气体；获得纯净的固体表面。真空的分类2022/11/29 2022/11/29 5 5真空系统的组成 典型的真空系统包括：-真空室(待抽空的容器);-真空泵(获得真空的设备);-真空计(测量真空的器具);-必要的管道、阀门和其他附属设备。2022/11/29 2022/11/
