LOGO目 录电子级磷酸用途1电子级磷酸执行标准2电子级磷酸工艺3电子级磷酸工艺简述4杂质对电子级磷酸的影响5电子级磷酸的检测6国外生产产能统计7国内消费区分布图8国内主要厂家产能统计9电子磷酸2013年预计需求量 10国内电子级磷酸特点11电子级磷酸进出口现状12电子级磷酸价格13电子级磷酸市场调研及决策102ppt课件电子级磷酸用途1纯度较低的主要用于液晶面板部件、基片涂胶前的清洗。2光刻过程中的蚀刻及最终去胶。3硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻。3ppt课件电子级磷酸执行标准国际半导体设备与材料组织(SEMl)将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8和SEMI-C12四个等级，但当前国内外对高纯磷酸级别的划分很混乱，国外如美国、日本、德国的电子级磷酸均已工业化生产，但由于技术保密，其产品质量指标及生产技术未见详细报道。国际标准国际标准国内标准国内标准2011年12月30日，国家质检总局、国家标准委在中华人民共和国国家标准公
