复习总结复习总结与电阻式、电感式传感器相比的优点：第第33章章 电容式传感器电容式传感器1.测量范围大：相对变化量可达100%。2.灵敏度高：可达10-7。3.动态响应时间短：可动部件质量小，固有频率高，适合于动态信号的测量。4.机械损失小：电极间引力小，无摩擦，热效应小，因此，精度高。5.结构简单，适应性强：金属做电极，无机材料绝缘支撑，能承受大的温度变化和强辐射，适合于恶劣环境工作。1 PP T 课件复习总结复习总结与电阻式、电感式传感器相比的不足之处：第第33章章 电容式传感器电容式传感器1.寄生电容影响大：导线电容、泄露电容。降低了灵敏度，非线性输出，甚至不稳定。2.当用变间隙原理进行测量时，具有非线性输出特性。由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面 由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好地解 已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好地解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。 决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。应用： 压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。2 PP
