磁控溅射镀膜1磁控溅射镀膜技术的应用1234Contents磁控溅射镀膜的发展磁控溅射镀膜的原理膜的检测手段2 磁控溅射镀膜磁控溅射镀膜的发展阴极溅射技术的发现与进展 1842 年 格 洛 夫 （Grove ） 在 研 究 电 子 管 阴 极 腐 蚀 问 题 时 ， 发 现 阴 极 材 料迁移到真空管壁上来了，进而发现了阴极溅射现象。 直 到1877 年 才 真 正 应 用 于 研 究 的 溅 射 设 备 上 。 迄 后70 年 中 ， 由 于 实 验条 件 的 限 制 ， 对 溅 射 机 理 的 认 同 长 期 处 于 模 糊 不 清 状 态 ， 在1950 年 之 前有关溅射薄膜特性的技术资料，多数是不可信的。 到 了19 世 纪 中 期 ， 阴 极 溅 射 技 术 发 展 也 相 当 缓 慢 ， 只 是 在 化 学 活 性 极 强的 材 料 、 贵 金 属 材 料 、 介 质 材 料 和 难 熔 金 属 材 料 的 薄 膜 制 备 工 艺 中 ， 采用溅射技术。3 磁控溅射镀膜磁控溅射镀膜的发展磁控溅射技术出现与进展 通 过 把 磁 场 应 用 到 设 备 中 ， 在1970 年
