掩膜版的制造掩膜版结构1) 掩膜版是对匀胶铬版经过光绘加工后的产品。由玻璃基片、铬层、氧化铬层和光刻胶层构成的。2) 当有效波长作用到光刻胶上，发生化学反应，再经过显影之后，曝光部分的光刻胶层会被分解、脱掉、直接显露出下层的铬层（阻挡光层） ，形成具体图形。3) 掩膜的应用目前掩膜版在电子行业中主要应用于 STN- LCD、TFT -LCD、PDP、以及 PCB 产业BGA、FPC、HDI 等产品。投影掩膜版与掩膜版 投影掩膜版是一个石英版，它包含了要在硅片上重 投影掩膜版是一个石英版，它包含了要在硅片上重复生成的图形，这种图形可能仅包含一个管芯，也可 复生成的图形，这种图形可能仅包含一个管芯，也可能是几个。投影掩膜版指的是对于一个管芯或一组管 能是几个。投影掩膜版指的是对于一个管芯或一组管芯的图形。 芯的图形。 光刻掩膜版：它是一块石英版，包含了对于整个硅 光刻掩膜版：它是一块石英版，包含了对于整个硅片来说确定一工艺层所需的完整管芯阵列。 片来说确定一工艺层所需的完整管芯阵列。 掩膜版是的制造工艺是关系到集成电路的质量和集 掩膜版是的制造工艺是关系到集成电路的质量和集成度的重要工序。
