集成电路器件与工艺参考书目n n半导体器件物理与工艺半导体器件物理与工艺 施敏施敏 苏州大学出版社苏州大学出版社n n微电子材料与制程微电子材料与制程 陈力俊陈力俊 复旦大学出版社复旦大学出版社n n硅超大规模集成电路工艺技术硅超大规模集成电路工艺技术-理论实践与模型理论实践与模型n n硅集成电路工艺基础硅集成电路工艺基础 北京大学出版社北京大学出版社n n芯片制造芯片制造半导体工艺制程实用教程（第四版），半导体工艺制程实用教程（第四版）， 电子工业出版社电子工业出版社n n半导体技术天地半导体技术天地n n 集成电路教育网集成电路教育网课程成绩n n 30%：平时成绩（作业、出勤、课上表现、笔记:不定期抽查）n n 70%：期末考试n n 考试内容以上课ppt和作业为主W. ShockleyJ. BardeenW. Brattain第一个点接触式晶体管 1947 - by Bell Lab点接触晶体管：基片是N型锗，发射极和集电极是两根金属丝。这两根金属丝尖端很细，靠得很近地压在基片上。金属丝间的距离：200250m第一章 前言1947年圣诞前夕，贝尔实验室的科学家肖克利(Willi
