第三章电子显微分析 本章要点：1.了解电子显微镜分析的物理基础理论；2.熟悉电子显微镜的基本构造和成像理论；4.重点掌握扫描电子显微镜的形貌分析方法和波谱、能谱成分分析方法.3.掌握电子显微镜形貌、结构和成分分析方法；前言什么叫电子显微分析？ 利用高能的电子束作为照明源，利用电子束与样品物质交互作用，产生的物理信号束来分析材料的显微组织、微区结构及化学成分的方法。用扫描电子显微镜进行的扫描电子显微分析；用透射电子显微镜进行的透射电子显微分析；用电子探针进行的X射线显微分析. 电子显微分析包括： 电子显微分析是材料科学的重要分析方法之一，它与其它的形貌、结构、成分分析方法相比具有以下特点：前言（3）各种电子显微分析仪器日益向多功能、综合性发展，可进行形貌、物相、晶体结构和化学组成等的综合分析。（1）可在极高放大倍率下直观试样的形貌、结构、选择分析区域。（2）是一种微区分析方法，具有高的分辨率（达到0.20.3nm ），可直接分辨原子，能进行nm尺度的晶体结构及化学组成分析。 电子显微镜 (electron microscope，EM) 一般是指利用电磁场偏折、聚焦电子及电子与物质作用所产
