第一章 薄膜的形成 第二讲1.3 成核理论 包括： 微滴理论热力学方法 原子理论统计物理学方法 2、原子理论 当原子数100个以上的微滴，其表面能和自由能可以用块状材料的相应数值。当小于100个以下，甚至几个原子的微滴时，需用原子理论。1924年,弗仑凯尔(Frenkel)提出成核理论原子模型 物理模型： 临界核最小稳定核结合能4-7个原子团4-7个原子团临界核和最小稳定核随基片温度的变化。T1T2T3T(111)/基片表面(100)/基片表面4-7个原子团E2E3= 2E2E4= 4E25E2E4= 6E2E5= 8E2当基片表面吸附弱而三个原子团被吸附的不牢时，动态平衡却有利于四原子结构(100)/基片表面结论：当原子团达到四原子以后，其结构有两种： 平面结构、角锥结构。 E2EP时形成三角锥结构 2E2EP时可能形成四角锥结构 E2EP时形成平面结构 对于在金属基片上沉积金属，一般其临界核的体积大约为7个原子（不超过）。 成核速率临界核密度每个核的捕获范围吸附 原子向临界核的总速度由统计理论，临界核密度:两种成核理论的对比： 微滴理论（毛细作用理论）热力学凝结论，适用于描述大的临
