特气管道施工与检查GAS&ChemicalPart2015.07.021一、特气概述 一般在半导体制造业我们把砌体分为大宗气体（BulkGas）和特种气体（SpecialGas）两种。大宗气体一般是指集中供养且用量较大的气体，涵盖制程用气如：PO2、Par、PH2、Phe，以及非制程用气如：CDA、N2、GN2等。 特种气体主要有各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体以及其他广为各种制程设备机台所使用的惰性气体等。随着各种不同气体的特性，设计出不同的气体输送系统来满足各种不同制程设备的需求。2二、特气的分类 我们将半导体制造业所使用的不同特种气体一般按照使用时的特性分为五类： 1、易燃性气体（FlammableGas） 2、毒性气体（ToxicGas） 3、腐蚀性气体（CorrosiveGas） 4、惰性气体（InertGas） 5、氧化性气体（OxideGas）3三、特气管材介绍 目前在半导体制程设备以及相关厂务系统中所使用的管件材料主要有不锈钢（StainlessSteel）、特氟龙（Teflon）、高密度聚乙烯（HSPE）、以及聚偏二氟乙烯（PVDF）等。其中在气
