第7章 测量学和缺陷检查 7.1 集成电路测量学 集 成 电 路 测 量 学 是 测 量 制 造 工 艺 的 性 能 以确 保 达 到 质 量 规 范 标 准 的 一 种 必 要 的 方 法 。 为了 完 成 这 种 测 量 ， 需 要样片 、测量设备 和分析数据的方法。 传统上，数据是在监控片( 又称样片) 上收集，样片是空白（或无图形）的硅片，包含在工艺流程中，专门为表征工艺的特性。而使用实际生产硅片模拟更接近在工艺流程中发生的情况，可以提供更好的信息。 无图形的表面测试系统Photograph courtesy of KLA-Tencor 监控片与有图形的硅片Patterned wafer Monitor wafer 用于性能测量的测量设备有不同的类型，分为与工艺分离的独立测试设备和与工艺设备集成在一起的测量设备。 独立的测试设备进行测量学测试时，不依附于工艺，但通常对硅片有破坏性或沾污。集成的测量仪器具有传感器，这些传感器允许测试工具作为工艺的一部分起作用并发送实时数据。 成品率定义为产出产品的合格数量与整体数量的百分比。成品率是一个硅片工厂生产高质量管芯能力的重要标志。为了查
