1真空系统设计主讲人:王继常东北大学 真空系统设计东北大学首期真空技术培训班系列教程之六2真空系统设计1.真空系统的组成2.真空技术基本方程3.真空系统的设计计算4.气体流动状态的判别5.流导的计算6.抽气时间的计算 7.真空密封 真空系统设计东北大学首期真空技术培训班系列教程之六31.真空系统的组成 真空系统设计东北大学首期真空技术培训班系列教程之六 1.1 真空系统的概念 1.2 真空系统的组成元件 1.3 真空系统示意图 1.4 高真空系统 1.5 真空系统设计的基本内容41.1 真空系统的概念 真空系统设计东北大学首期真空技术培训班系列教程之六 什么是真空系统? 用一句话来概括,真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。51.2 真空系统的组成元件 真空系统设计东北大学首期真空技术培训班系列教程之六一个较完善的真空系统由下列元件组成: 1抽气设备:例如各种真空泵; 2真空阀门; 3连接管道; 4真空测量装置:例如真空压力表、各种规管; 5其它元件:例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。61.3 真空系统示意图 真空系统设计东北大学首期真空技术培训班系列教程之六