姓名：王雪重庆科技学院电子信息学院精密机械与仪器课程微位移技术微位移技术l 一：概述l 二：压电、电致伸缩器件l 三：电磁控制的微动工作台l 四：柔性铰接l 五：精密工作台的设计及特性分析l 六：其他类型微位移工作台微位移技术发展很快。用金刚石车刀直接车削大型天文望远镜的抛物面反射镜时，要求加工出几何精度高于1/10光波波长的表面，即几何形状误差小于0.05 m。计算机外围设备中大容量磁鼓和磁盘的制造，为保证磁头与磁盘在工作过程中维持1 m内的浮动气隙，就必须严格控制磁盘或磁鼓在高速回转下的跳动。特别是到20世纪70年代后期，微电子技术向大规模集成电路（LSI）和超大规模集成电路（VLSI）方向发展，随着集成度的提高，线条越来越微细化。256K动态RAM线宽已缩小到1.25 m左右。目前已小于0.1 m，对与之相应的工艺设备（如图形发生器、分步重复照相机、光刻机、电子束、和X射线曝光机及其检测设备等）提出了更高的要求，要求这些设备的定位精度为线宽的1/31/5,即亚微米甚至纳米级的精度。概述 概述概述 概述微位移机构的分类及应用微位移机构（或称微动工作台）由微位器和导轨 两部分组成，根
